HVBN隔离的衬底是什么类型的掺杂呢

西瓜慧子 · 发表于 2 小时前

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已知DNW隔离的衬底是通过重掺杂n实现的，那么dnw中电位不一样的nwell需要单独掏出来隔离,那么HVBN是否类似?
得到HVBN的剖面图一张
这个剖面图里的EPI是什么类型的掺杂呢

wyg8871 · 发表于 2 小时前

HVBN=NBL，EPI=psub，看结构可以这么理解，HVBN上可以存在多大不同电位的nw，但是psub只能有一个，和DNW相反。我感觉应该是不同厂家的不同叫法

小李k · 发表于半小时前

EPI应该是被隔离出来的地p+,HVBN确实结构类似DNW，但耐压高很多，之前做smic .18 V3E用的就是这种结构

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