如何看mask?

zaorituixiu · 发表于 2024-1-19 10:02:05

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请问这张表格中的CAD&verification layer是验证层次的意思吗？目的是跑drc lvs需要覆盖的层次还是实际制作过程中会生产的mask?

Quinn714 · 发表于 2024-1-19 10:12:32

去把器件的layout调出来看层次就明白了，cad layer这些有些是辅助层次，参与mask运算，但不是mask，具体mask层次在design rule或者专门关于mask layer的文件有介绍的

李幕白 · 发表于 2024-1-19 10:46:47

可以看到这是不同类型不同阈值电压的HV晶体管，那么晶体管分为三个类型的layer组合而成，分别是物理实际存在的layer，离子注入的layer，以及标记，验证，描述识别作用的虚拟识别层。实际制作过程应该是需要先去光罩厂生成前两个layer，后面的有可能是作为逻辑运算的层次也有可能是作为识别使用或者验证使用，例如，POLY_SLOT就是一个逻辑运算层，不实际生产，POLY存在的地方且有POLY_SLOT的地方即等于没有POLY。

zaorituixiu · 发表于 2024-1-19 10:56:24

网站回不了贴，感谢大佬们的回复！

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