求助，有人知道湿蚀刻SiN一般用什么蚀刻溶液吗

yezi1640 · 发表于 2023-8-14 13:58:07

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有人知道湿蚀刻SiN一般用什么蚀刻溶液吗，蚀刻SiN后，不会蚀刻AlGaN外延层

yezi1640 · 发表于 2023-8-14 14:04:10

SiN是LPCVD沉积的薄膜

dabaixiao · 发表于 2023-9-14 15:35:37

如果不是以去除为目的，湿法腐蚀用BOE会好一些。

z506161991 · 发表于 2023-9-19 16:39:32

SIN用热磷酸湿法刻蚀

xl518 · 发表于 2023-9-28 16:40:43

BOE湿法蚀刻，我就是做这个的，半导体湿电子化学品

yezi1640 · 发表于 2023-10-13 13:20:06

xl518 发表于 2023-9-28 16:40
BOE湿法蚀刻，我就是做这个的，半导体湿电子化学品

好的，谢谢

yezi1640 · 发表于 2023-10-13 13:21:49

z506161991 发表于 2023-9-19 16:39
SIN用热磷酸湿法刻蚀

谢谢，我去尝试一下

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