小白求助有关一个via形状的问题

nijiayu · 发表于 2023-3-27 16:56:23

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小白求助，为什么版图里包括lef里定义的via都是正方形的？但是我之前在fab里待过，见过制造出来的via都是圆形的，到底哪个形状是对的？

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模拟后端的小白 · 发表于 2023-3-29 16:59:14

你看到的应该是处理过的，还有就是你看到的应该是制造完的，现在这个是版图级的形状，就是正方形，我做过10种工艺就没有圆形，而且工艺厂也不能让我们画成圆形的，制造上会有问题，看rule

powerboy711 · 发表于 2023-3-30 15:16:39

版图都是方形的，但是制造过程中因为光刻胶曝光和刻蚀的原因，对于小尺寸方孔不能做出直角，所以看起来是圆的，其实只有直角变圆了，并不是圆形

nomatterwhat · 发表于 2023-3-31 10:47:20

前面说的对，版图是有正方形和长方形的。

nijiayu · 发表于 2023-4-10 10:43:50

数字后端的小白发表于 2023-3-29 16:59
你看到的应该是处理过的，还有就是你看到的应该是制造完的，现在这个是版图级的形状，就是正方形，我做过10 ...

制造完的确实是圆形的，但是后端和版图既然定义的图形都是方形的，就是转换成圆形不知道在哪个步骤完成的，是在制造光罩的时候么？有一点困惑

nijiayu · 发表于 2023-4-10 10:45:28

nomatterwhat 发表于 2023-3-31 10:47
前面说的对，版图是有正方形和长方形的。

搞不明白什么时候为什么到光罩的时候就变圆形了

nijiayu · 发表于 2023-4-10 11:12:59

powerboy711 发表于 2023-3-30 15:16
版图都是方形的，但是制造过程中因为光刻胶曝光和刻蚀的原因，对于小尺寸方孔不能做出直角，所以看起来是圆 ...

是这样么，我做过工艺，我认为光刻和刻蚀是可以做直角的，但是pvd和cvd确实做不到填满方洞，我也赞同是出于工艺考虑做成圆形，但我不理解为什么fab给出去参数的时候不给一个圆形，可能为了方便定义吧，这样在后端和版图的时候大家都是横平竖直的比较统一和方便，然后做光罩的时候再按via面积折算成相应的圆形便于制造

模拟后端的小白 · 发表于 2023-4-10 14:26:50

nijiayu 发表于 2023-4-10 10:45
搞不明白什么时候为什么到光罩的时候就变圆形了

近视等于圆形，其实不是的，我们画出来的版图是正方形，实际是工艺过程中那四个角做不到90°，就是刻蚀的过程中是没有办法达到正方形的，

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