光学共聚焦显微镜在电子生产领域中做什么

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在电子材料生产领域中，如需要分析材料元件粗糙度的时候，不管是使用原子力显微镜还是台阶仪，都没有办法同时兼顾分辨率、扫描区域以及扫描速度。而基于激光共聚焦显微测量技术的共聚焦激光扫描显微镜，配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。并且可以在保证分辨率的同时满足测量速度的需求。

VT6000光学共聚焦显微镜

1、非接触式扫描，操作简便，样品即放即扫。
2、具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能，粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
应用：摩擦学，腐蚀等表面工程
磨痕的体积测量，粗糙度测量，表面形貌，腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌。

应用：半导体/ LCD
各种工艺（显影，刻蚀，金属化，CVD，PVD，CMP等）后表面形貌观察， 缺陷分析 非接触型的线宽，台阶深度等测量。

3、具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量。

在样品表面抽取多个区域测量，就可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。

激光共聚焦显微镜具有高对比度、高分辨率及可重建三维图像的优势，查看各种显微照片更加清晰，在材料生产、科研和检测领域获得广泛应用。