65nm的DNW是在形成STI之前就注入的吗？

danalog · 发表于 2023-2-5 22:22:10

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大家好，我想问一问65nm工艺中的DNW的形成，是在做STI之前就要提前注入吗？还有Nwell resistor under STI也是提前进行NWELL注入吗？

powerboy711 · 发表于 2023-2-9 16:15:13

是的

powerboy711 · 发表于 2023-2-9 16:16:06

如果有mask文件，你可以看下，mask文件基本就是按顺序来的

lndxeb · 发表于 2023-11-23 17:56:50

是先STI 再DNW，具体顺序STI-DNW-PW-NW

[求助] 65nm的DNW是在形成STI之前就注入的吗？