关于DNW的一个问题

Albert_z · 发表于 2022-12-2 09:36:34

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请问DNW是做在外延层上的还是直接做在P型衬底上的？

Andyou · 发表于 2022-12-2 10:04:22

个人理解时做在p衬底上我认为所有东西都是坐在p沉底上的

note30933 · 发表于 2022-12-2 11:38:05

学习了

xiaoqiansimc · 发表于 2022-12-2 13:45:11

DNW是深阱层，层次结构位于NW下面，P衬底上。工艺上是一种轻参杂N+注入，主要是用于隔离。

ahhanliang · 发表于 2022-12-2 14:10:00

外延层fab里叫EPI wafer，实际上是在raw wafer上就长好了的，就是说下线的wafer 就已经包含EPI 层了，（通常是2u的厚度，有些有特殊要求的更厚一点，3u，4u等）
所以后续的所有process，包含Implant，都是在这层以后做的。

张2018 · 发表于 2022-12-2 15:07:00

一般也不会用外延片吧，那玩意儿也挺贵的，一般的模拟电路工艺也不需要这个

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