smic.18的电阻SAB、HRP层DRC错误

模拟之路 · 发表于 2022-11-28 17:25:21

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求助这个错怎么处理呀

这个SAB间距报错，然后我把同排电阻都盖上SAB就不报错了，这样的操作可行吗 ...

DRC报错：
it is not allowed to receive S/D-SN,and all LDD implant in the HRP region
这个是什么意思，该怎么解决呀

fengrlove · 发表于 2022-11-28 17:51:06

HRP 电阻是只有两端的cont 区域有p/n imp。。你是不是再HRP电阻上面盖上一整个区域的p/n imp?

模拟之路 · 发表于 2022-11-28 19:09:53

fengrlove 发表于 2022-11-28 17:51
HRP 电阻是只有两端的cont 区域有p/n imp。。你是不是再HRP电阻上面盖上一整个区域的p/n imp? ...

对，我盖了一层SP，不然他报错呀，就像这样屏幕截图 2022-11-28 190924.png

fengrlove · 发表于 2022-11-28 19:13:50

你不能整个盖SP呀，就两头的cont包上SP就行。把电阻两头的SP和 PSUB ring上的sp 一起就行。。感觉你对工艺不是很了解啊

模拟之路 · 发表于 2022-11-28 19:24:27

fengrlove 发表于 2022-11-28 19:13
你不能整个盖SP呀，就两头的cont包上SP就行。把电阻两头的SP和 PSUB ring上的sp 一起就行。。感觉你对工艺 ...

真的可以啊，按你说的做，没有报错了！非常感谢！！我对工艺确实不太了解，还在入门中！

张2018 · 发表于 2022-11-29 07:37:07

一般来说HR是轻掺杂poly，上面得盖SAB，并且除了两端接以外不能有其它注入层次

[求助] smic.18的电阻SAB、HRP层DRC错误