如果孔周围的金属包围面积不够会发生什么？

Issac_Wang · 发表于 2022-10-10 10:41:46

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本帖最后由 Issac_Wang 于 2022-10-10 10:42 编辑

今天查看中芯国际的设计规则文件时发现顶层孔这条规则，想知道为什么孔要足够的长度的金属包围？如果孔周围的金属面积不足，会有怎样的问题？

fengrlove · 发表于 2022-10-10 10:54:38

工艺原因

Issac_Wang · 发表于 2022-10-10 11:03:24

fengrlove 发表于 2022-10-10 10:54
工艺原因

非常感谢。

zzm1997510 · 发表于 2022-10-11 09:10:08

fengrlove 发表于 2022-10-10 10:54
工艺原因

您好，想请问一下这是哪本书

fengrlove · 发表于 2022-10-11 09:14:58

zzm1997510 发表于 2022-10-11 09:10
您好，想请问一下这是哪本书

计算光刻与版图优化

note30933 · 发表于 2022-10-11 10:22:23

学习一下

zzm1997510 · 发表于 2022-10-11 14:23:52

fengrlove 发表于 2022-10-11 09:14
计算光刻与版图优化

谢谢

[求助] 如果孔周围的金属包围面积不够会发生什么？