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[求助] shotmap是什么?

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发表于 2022-1-5 09:18:56 | 显示全部楼层 |阅读模式

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shotmap,我感觉是芯片在wafer上的排布,但是为什么要叫做shotmap呢?
发表于 2022-1-5 09:43:09 | 显示全部楼层
光刻一次曝光在晶圆上留下的芯片阵列图形3X3,3X4等,就是一个shot; 一片晶圆经过多次曝光,就有了shot map
 楼主| 发表于 2022-1-5 10:29:48 | 显示全部楼层


lijie5992373 发表于 2022-1-5 09:43
光刻一次曝光在晶圆上留下的芯片阵列图形3X3,3X4等,就是一个shot; 一片晶圆经过多次曝光,就有了shot map ...


谢谢了
发表于 2022-12-14 15:10:57 | 显示全部楼层
请教下2楼,这个shot是不是也叫field
发表于 2023-1-18 16:03:20 | 显示全部楼层
我们这边一般把gds在Frame(mask)上的排布叫shotmap,把Frame(mask)在wafer上的排布叫wafer map
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