工艺手册中电阻的蒙卡仿真结果图的理解

红红的西瓜

       本人目前在学习工艺手册中电阻器件说明，其中对于P+poly电阻的蒙特卡洛失配测试结果如下图所示。请问应该怎么看这个图呢？十分感谢！！

工艺库中图的标志为：Simulation results of 1000 Monte-Carlo random tests of sigma 2*(R1-R2)/(R1+R2)

夜冷了

记得vth 失配公式是σ = avth/sqrt(W*L), 电阻这不是给了一个dR（%）与1/（W*L）0.5的线性关系嘛。一个道理

红红的西瓜

夜冷了 发表于 2021-12-5 20:27
记得vth 失配公式是σ = avth/sqrt(W*L), 电阻这不是给了一个dR（%）与1/（W*L）0.5的线性关系嘛。一个道理 ...

感谢您的回答！确实类比起来很相似，解释也解释的通。具体的仿真过程，我想是不是这样理解。设置若干个自变量——即若干个面积(WL)^0.5的电阻，分别进行蒙卡仿真出多个阻值，对于注释中的2*(R1-R2)/(R1+R2)，也许是每一个不同电阻面积对应的蒙卡仿真结果阻值中进行两两操作，得出归一化百分比，就得到了图中的一个个点。最后用直线拟合。
自己的一番猜想。还请大家指正！

夜冷了

红红的西瓜 发表于 2021-12-5 21:17
感谢您的回答！确实类比起来很相似，解释也解释的通。具体的仿真过程，我想是不是这样理解。设置若干个自 ...

这个不用猜想，就是这个样子，TSMC 工艺文档清楚的写着啊。

红红的西瓜

夜冷了 发表于 2021-12-5 22:53
这个不用猜想，就是这个样子，TSMC 工艺文档清楚的写着啊。

好的，谢谢！这个问题现在基本是清楚了。