tsmc 用metal dummy的入了撒dummy，为什么不撒AP层呢？

小云子 · 发表于 2021-11-29 11:32:02

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

tsmc 用dumm ruley撒dummy，为什么不撒AP层呢？其他层次都撒了，就AP层没撒
普通via能撒，厚金属的via就不撒了，这又是为什么呢？求大神指点

fengrlove · 发表于 2021-11-29 14:34:48

做一层metal，然后cmp。。。。。ap都到最上层了。还撒它干嘛。。。

[求助] tsmc 用metal dummy的入了撒dummy，为什么不撒AP层呢？