scribe lane和sealring shrink吗？

y2shao · 发表于 2021-4-7 16:45:56

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求助：
选择scribe lane=60u ；sealring=20u（10+10u); layout=1000X1000u；工艺会shrink 10%。
最终foundry加工出的scribelane=？ sealring=？ layout=900X900u

castrader · 发表于 2021-4-7 16:51:03

sealring为啥不自己加？根本不需要20u
scribelane需要跟foundry沟通，60已经很小了，再小可能下刀会伤芯片了

[求助] scribe lane和sealring shrink吗？