请问20多G的GSG pad，一般是按照什么规则来做啊？

kanon0530 · 发表于 2021-1-11 15:07:44

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pdk给了一个bonding pad的规则，可以用drc检查。倒是有比较详细的怎么从铝窗、顶层金属、次顶层往下接的说明，也说明了两个钝化层应该放多大，跟铝窗的关系。但我又不准备bonding后再测试。
还给了一个probe pad的指导，没有相应的drc检查。但这个指导写的很模糊，就画了上面两个钝化层。也没说怎么把顶层金属往下接，也没说钝化层和开的铝窗口的大小位置关系。

我是准备用GSG探针来做片上测试，不把高频信号bonding出来，这种情况下，请问一般是按照什么规则来做pad啊？
多谢！

kanon0530 · 发表于 2021-1-11 17:19:45

下班自顶……

[求助] 请问20多G的GSG pad，一般是按照什么规则来做啊？

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