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[求助] 想打DFM的VIA,需要再techfile哪里设置

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发表于 2020-12-7 09:50:26 | 显示全部楼层 |阅读模式

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12nm工艺,整个工艺没有开DFM开关,但是在drc rule里面打开了DFM ,所以需要check DFM rule,打VIA也需要满足dfm,普通打出来的via基本都不满足,以前记得打via的时候可以直接打出dfm_via,忘记开关在哪了
发表于 2020-12-7 10:12:06 | 显示全部楼层
Layout Editor Option  右下角 create via
 楼主| 发表于 2020-12-7 10:19:15 | 显示全部楼层


Siman2000 发表于 2020-12-7 10:12
Layout Editor Option  右下角 create via


工艺没有开的时候,option中create via是没有dfm_via的选项的
发表于 2020-12-7 15:21:37 | 显示全部楼层
可以自己通过小脚本做个via孔放在里面调用就可以了
发表于 2020-12-20 00:52:58 来自手机 | 显示全部楼层
你们好,怎么开工艺
发表于 2021-1-18 17:18:14 | 显示全部楼层
dfm是什么?我没接触过这些名词,是打孔的时候自带金属包住吗?
发表于 2021-1-18 21:38:35 | 显示全部楼层
请问如何在creat vias里添加孔啊,我的库里只有金属层之间的孔,没有衬底孔
发表于 2021-1-19 08:42:57 | 显示全部楼层
我不确定下面的方法可行,你可以试一下:
tf里面有via定义的字段,比较明显,你找到就好,那里是默认的via的定义,你可以复制你想要的via定义,变个名字,比方说m1_m2变成m1_m2_dfm啥的,然后修改后面的默认值到dfm需要的值。然后用这个tf试试。
要小心点儿一般PDK用的技术文件是tech后缀的,注意备份。
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