Foundry在流片时,由于版图效应(LDE),最终加工的版图在尺寸和金属属性上会有偏差。偏差导致实测结果和EDA仿真结果有差异,所以设计阶段的EM仿真建模会不精准,增大流片失败风险。在先进工艺上,LDE问题更加显著。
在EM仿真建模中,如果EM仿真工具能考虑LDE问题,仿真验证就能更接近实测值。
Peakview仿真软件的配置文件中考虑了LDE,保证仿真精度更接近实测结果。在当前先进的工艺中,更能提升流片成功率。在一些7nm等先进工艺中,PDK信息是加密的,这种LDE信息已不能靠人工处理,peakview可以通过软件自动解析进行加载,为仿真工作带来精度保证和便利。
Peakview会识别PDK中的LDE信息,转换配置文件时以方块电阻变化表、线宽变化表映射LDE信息。仿真时peakview根据不同的设计尺寸来查表,调用实际的方块电阻和线宽值,确保仿真结果更接近实测值。
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