华润上华的工艺PIMP和NIMP层次需要光刻吗？

w2313190 · 发表于 2018-1-25 15:53:07

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华润上华的工艺PIMP和NIMP层次需要光刻吗？其它工艺的这两个层次呢？

110006 · 发表于 2018-1-25 16:57:34

这两个难道不是DEVICE source/drain 的注入吗？需要先光刻然后做注入。

motofatfat · 发表于 2018-1-26 09:42:26

同意樓上的說法大部分用到的 layer 先光刻做成 mask
再用注入或是蝕刻來做

firewolf223 · 发表于 2018-1-27 12:44:07

所有出mask 的layer都需要做litho

powerboy711 · 发表于 2018-4-5 20:40:38

需要做mask，光刻

sscott · 发表于 2018-4-10 14:30:14

学习了

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