mask制作过程问题

784289492 · 发表于 2016-10-29 15:03:10

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在mask制作时，via会比我们所画的版图对应的via会大一些，为什么要这样做呢？

liamy2009 · 发表于 2016-12-14 09:06:18

工艺误差吧

xxmule · 发表于 2016-12-15 10:41:47

大多少?，mask制作的时候有个公式的，你自己可以算算是不是一样的，一样的就没有问题

回复 1# 784289492

okfunny · 发表于 2016-12-16 20:31:28

回复 1# 784289492
主要就是刻蚀的偏差，还有一些光学效应，导致最后做出来的图形与版图上的不一致，需要通过OPC光学修正，效果就是mask会与你画的版图有些偏差

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