what is CMOS MEM ??

Rucas

thanks foe sharing

xlteam2

VERY GOOD

shg841100

学习了

hjc19951212

使用CMOS工艺先加工，提前把MEMS部分的图案也绘制出来，然后拿回晶圆做后处理，这个要么大公司fab配合你，要是个人研究者，自己拿回实验室用设备自己做后道工艺处理，我这边的老师是这么做的。