smic0.13u--MIM1电容问题

martin579 · 发表于 2014-1-21 19:32:03

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本帖最后由 martin579 于 2014-1-21 19:34 编辑

我想请教下以下MIM1电容连接是否有问题，我采用的是M8从电容两端M8金属上连接出来的，通过LVS，但是芯片测试结果表明可能是电容两端短路。
我现在希望排除这个可能，不知道我的电容连接方法是否有问题，谢谢了。

MIM1电容版图如下：这些层依次有MIM、M7，而两端都是通过M8和V7孔引出。

MIM1电容结构：也就是如上图，上面（无MIM层覆盖部分）M8打孔到M7作为下极板（负极），下面（含有MIM层）M8打孔到MIM作为上极板（正极）。

tuohong · 发表于 2014-1-23 11:48:40

我个人认为有如下几个方向：
1、command file有问题，你画短路了，没查出来。
2、器件结构错了，工艺上根本就给了一个短路器件。
3、生产加工出问题了，比方说孔贯穿通了？
4、测试方法问题，得到错误结果。
5、工作环境下导致电容间介质击穿了，等等。
应该还有很多的其他可能性吧。
可以通过查看随wafer的pcm，增加CP，EMMI等方法定位。