scribe line tone 意义是什么？

hszgl · 发表于 2013-11-27 18:18:34

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之前只关注Digitized 内容，今天看到有个关于sealring的帖子里提到scrible line，再查了下工艺rule，scribe line tone的C/D和digitize的内容基本相反，请教大侠是否知道为何？

2hen · 发表于 2013-12-15 10:56:18

scribe line tone是指示不同芯片之间的划片槽怎么画，digitize是整个芯片的掩膜在生产是clear或dark

季老的猫 · 发表于 2024-3-27 12:23:24

bow~~~~

[讨论] scribe line tone 意义是什么？