工艺层次的厚度和浓度

yj5520379 · 发表于 2013-3-13 10:01:34

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有哪位高手对工艺层次的厚度和浓度有了解的，能不能告诉一下0.18um工艺各层次的大概厚度和掺杂浓度。比如：n+、p+、nwell、pwell、n-deep-well、n埋层、还有STI的厚度。只要大概的数据就行，非常感谢

y3rike · 发表于 2013-3-13 21:30:53

你要这个做甚？写论文？

yj5520379 · 发表于 2013-3-14 08:13:35

回复 2# y3rike
用来做器件仿真，也是为了论文。请问你有这些参数的大概值吗？

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[求助] 工艺层次的厚度和浓度