工艺线上在每做一层metal都会进行一次去静电的处理

ptadx · 发表于 2012-9-3 17:26:56

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如题：工艺上在每做一层metal都会进行一次去静电的处理吗？这是不是就是解决可以天线用跳线的原因。求大神，确定有没有放电处理！

allen_tang · 发表于 2012-9-3 21:53:58

有，听说有照紫外线，应该还有其它方法，但是具体的我就不知道了。

professor_h · 发表于 2012-9-4 08:51:22

我听同事说的也是没做一层金属就去一层静电的~~

729050850 · 发表于 2012-9-4 08:54:30

也有这方面的疑问，是不是湿法刻蚀的时候就已经把静电释放掉了？

randysong · 发表于 2012-9-4 10:37:28

是的，这就是为什么可以使用跳线来解决天线效应的原因，如果不做这个处理，那金属线上的电荷就会一直存在，直到形成泄放通路。

dinggo · 发表于 2012-9-6 13:43:43

据说是只有有部洗片的工序，这道工序把片子上积累的电荷干掉了

professor_h · 发表于 2012-9-7 09:05:03

我有个同学在某fundry，说没有这个步骤的~~当然不同的工艺不一样吧

hanfeng005 · 发表于 2012-9-10 10:14:36

到底是有没有呢？

ptadx · 发表于 2012-9-10 11:45:16

有人能给个肯定的答案不啊！！！

grouchy · 发表于 2012-9-10 12:33:38

有，听说有照紫外线，应该还有其它方法，但是具体的我就不知道了

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