做过trim的请帮忙～～

zhongbo1127

你要说明一下你的trim的对象，有poly，metal，方式有 efuse 有laser
不过看样子你是efuse. metal trim。
1,pad大小无所谓，和普通的一样大小就行了,前提是你的efuse电流要设计的适中。
2，这个问题你可以参考 fab的pdk，里面有金属的最大安全电流与尺寸的关系，要大于这个安全电流的值6-10倍以上，熔断时间一般电流越大，时间越短，你没有提供你的电流值，所以时间很难说。
3，一定要开窗口，不然很有可能无法trim。开窗口一定要注意，从底层开到最上层，和pad的孔一样。开窗口的大小一定要注意，不能太小，太小了，气化的金属无法散开，有可能再次短路，所以你的金属一定要做的细长，我见过有做过efuse的金属或者poly再次生长到一块的例子。另外，顶层不要有钝化层。好运