请问MEMS的模拟仿真软件都有哪些，哪个好一点？

kofkoy2000

Coventorware建模比较方便，但是网格划分和运算能力等有限元仿真的能力和端口开放不够，基本不能干预计算过程。这个当面几年前，问过他们公司的一个老外，老外一耸肩，有限元软件是买的，他们也没什么办法。结果大家都很喜欢拿这软件来建模，做演示，而不是拿来做仿真计算。
Ansys的计算能力不错，毕竟是老牌的有限元仿真软件。
comsol这几年越来越受欢迎，做多场耦合是其长处。