有没有比较好的方法或skill检查版图中金属对齐问题？

ad184908822 · 发表于 2025-9-1 17:47:19

最近一直在苦恼这个问题，top版图check时发现了很多金属线和via没有对齐

ad184908822 · 发表于 2025-9-1 17:55:27

小王同学num:one 发表于 2025-9-1 17:49
可以试试用convex edge用来检查孔错位

你好，请问具体应该怎么操作

ad184908822 · 发表于 2025-9-1 17:56:56

我记得smic的pdk似乎将检查错位集成在了drc rule里面

ad184908822 · 发表于 2025-9-2 08:59:22

小王同学num:one 发表于 2025-9-1 18:00
具体可以看看svrf_ur里面关于convex_edge的说明

好的我去研究一下

ad184908822 · 发表于 2025-9-2 13:53:13

小王同学num:one 发表于 2025-9-2 11:15
可以试试在include svrf rule statement里面加上

A{CONVEX EDGE M3i < 2 WITH LENGTH < 0.2}

好的，非常感谢！

ad184908822 · 发表于 2025-9-2 13:54:19

王玉发表于 2025-9-2 11:43
drc rule 当中有定义啊，这个应该会报出来error啊不过drc rule 中定义的数值可能比较大一大才会报出来， ...

drc里面没有定义这个规则，所以check的时候感觉比较麻烦

ad184908822 · 发表于 2025-9-2 13:55:37

王玉发表于 2025-9-2 11:43
drc rule 当中有定义啊，这个应该会报出来error啊不过drc rule 中定义的数值可能比较大一大才会报出来， ...

如果您有相关的drc rule定义的话可以贴一下供参考！

ad184908822 · 发表于 2025-9-9 16:53:22

tosayes 发表于 2025-9-9 14:29
你意思是via上没有覆盖metal，drc不会报错？

这个drc有问题啊。

你好，我指的是图层错位的问题，比如有时候两个图层错位0.005um时用肉眼很难检查出来，想咨询是否有合适的方法自动检查

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