tsmc 40nm shrink 问题

doghead · 发表于 2025-2-18 20:48:45

你可以看design rule，里面会写着poly的尺寸就是实际流片出来的尺寸

doghead · 发表于 2025-2-19 13:23:17

zhangzch 发表于 2025-2-19 10:19
design rule里提到了poly的宽度需要>=40nm

你是指这个规则吗？

你查看目录应该有shrink单独列出来的，找不到也没关系，你可以只需要知道poly不会shrink

doghead · 发表于 2025-2-19 17:10:40

本帖最后由 doghead 于 2025-2-19 17:13 编辑

zhangzch 发表于 2025-2-19 13:35
poly不会shrink，这一点我是第一次听说，在design rule中还没看到过。

所以只有金属需要shrink吗？

这个在SMIC 55nm的design rule里面是有的，不知道tsmc有没有

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