seal ring

David.Z

TS的 .18工艺，我按照design rule做了个seal ring ，单个sealring 能跑过DRC，但是做MPW就会又sealring的报错，具体就是原因就是seal ring里面的孔是长条形的，是一个环，design rule里面也是这么做的，单个seal ring确实过了没报这些孔的错，但是放两个sealring就会报孔的错误，具体就是：
CO.W.1:contact width !=0.22
VIA1.W.1 :VIA1 must be 0.26 x 0.26
VIA2.W.1 :VIA2 must be 0.26 x 0.26
......
都是孔的问题，有大佬知道这么解决吗，是sealring做的有问题少了layer还是做mpw的时候需要一层layer来规避这些错误。

David.Z

   

esbwong 发表于 2024-1-4 17:11
少了sealring layer ?

这个有的，不然单个sealring都不能过。

David.Z

   

linxishiguang 发表于 2024-1-4 17:24
sealrin不是自己做的哈，会有fab提供的gds。里面的via不是drawing层，应该是bar层。 ...

pdk里面没有，fab就只给了个sealring的设计规则，让我改，请问bar层具体是哪一层，我这VIA12处理drawing 就只有pin和dummy。

David.Z

   

linxishiguang 发表于 2024-1-4 17:24
sealrin不是自己做的哈，会有fab提供的gds。里面的via不是drawing层，应该是bar层。 ...

还有sealring应该是长孔没错的吧，我看另一个工艺里面自带的sealring孔就是长孔围城的环，总不能方孔把sealring打满把。

David.Z

   

ZN0001 发表于 2024-1-4 17:58
PAD层和prbndry层有嘛

pad有，prbndry没有，不过这个层我记得应该就是个边界吧，能用在sealring上吗？

David.Z

   

ZN0001 发表于 2024-1-5 09:17
我这里有

能发个图片吗，包括seal ring的样子和使用层次。

David.Z

   

ZN0001 发表于 2024-1-5 09:52
发了图片，审核还没过

好的，谢谢

David.Z

   

ZN0001 发表于 2024-1-5 09:37
样子都一样啊，使用到了这些层，我这也是T家.18的

加了prboundary还是过不了，一样的问题，不过我没有加OD2和RPO这两层，你放两个seral ring不会报错吗？

sealring是否需要DRC相干的层来跳过DRC检查。

David.Z

   

ZN0001 发表于 2024-1-5 14:44
我只有这几个层次，你要不把你的贴出来看看

我这不准截图，我用的是：

DIFF
PIMP
CONT
METAL1
VIA12
METAL2
VIA23
METAL3
VIA34
METAL4
PAD
PSUB2
SEALRING

David.Z

   

ZN0001 发表于 2024-1-5 16:15
你要不吧我的那些层次加上试试？

OD2和RPO是覆盖整个seal ring，还是金属部分，我的seal ring最外面4.1um不能放金属。不知道你的seal ring是不是铺满金属的。