资料求助（Chemical Vapour Deposition (CVD) @2019）

Twonej · 发表于 2022-11-8 13:53:39

Chemical Vapour Deposition (CVD)_ Advances, Technology and Applications.part1.rar (32 MB , 下载次数: 43 )

Chemical Vapour Deposition (CVD)_ Advances, Technology and Applications.part2.rar (32 MB , 下载次数: 40 )

Chemical Vapour Deposition (CVD)_ Advances, Technology and Applications.part3.rar (11.48 MB , 下载次数: 43 ) 看看是不是这个？

Twonej · 发表于 2022-11-10 12:18:32

MAM 发表于 2022-11-10 09:35
感谢大佬，就是这本，给您设置最佳答案了。您还有其他集成电路制造相关的CVD资料吗，现在比较需要这一块 ...

抱歉，我不是工艺方向的，你可以上google scholar或者library genesis用关键词查找一下相关书籍。论坛里面我所有的半导体收藏 - IC畅销书试读 - EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网) -这个好像是做工艺的大佬，你可以看看有没有cvd相关的

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