gds版图交给FAB，再送mask shop，请问mask shop做了哪些操作呢？

ligenhang

你把gds送到fab，fab就会验证你的drc符不符合，然后再排版，即使你是单芯片也要排，并在切割道上添加fab自己的测试模块，包括各个层次尺寸控制，偏移量测量，还有wat测试单元这些东西，然后把这一版数据送mask house,mask house 根据给定的数据和对应的mask bias产生数据，再返回给工厂和客户确认，确认无误再生产光罩