有一个关于mim电容的小问题

rain_0

一般来说，不推荐这种接法。

我大概知道这种接法的情况，一般是多个mimcap并联的情况，下极板都是同电位，第一个用上层metal（比如m4）接过来，后面都直接用m3连起来，这样比较方便连线。但是这样会造成m3的面积过大，有产生antenna的风险。

有些工艺会避免这种情况，在DRC的时候会检查每一个电容的下极板都必须跳线到上层metal，如果没有类似检查，在面积很大的mimcap并联的情况下最好也避免这种接法。