45nm工艺下互连金属的单位面积电容、边缘电容如何得知？

潇湘君 · 发表于 2012-6-15 13:58:24

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

最近想用一个简单的模型估计一段还没有实际布线的连线电容值，因为长、宽、金属层都可以确定，就想用一些简单公式粗略估算布线后的线电容，但一些数据还未知，如题，还有45nm工艺下的绝缘层厚度是个神马情况呢？？
看过ict文件、captable文件，但都看不懂，不知道有没有关于这些的说明文件呢？
不知还有没有更佳的方法，希望各位不吝赐教啊，在下先行谢过！！！

yckai007 · 发表于 2012-6-15 21:24:08

回复 1# 潇湘君

spice model 文件夹中一般有interconnect 文件

潇湘君 · 发表于 2012-6-16 12:38:57

回复 2# yckai007

哦？回头我再去翻翻……其实之前也翻过像spice和spice_lpe这种文件夹，没发现想要的或者是我没看懂。

潇湘君 · 发表于 2012-6-20 22:47:35

唉，帖子就这样沉了。。。这问题真的很难吧

powerfulsun · 发表于 2013-3-10 13:19:10

查看star RC的manual，上面有具体说明

胖大海1991 · 发表于 2019-1-19 12:39:07

StarRC可以提取。绝缘层厚度即使通过SEM观测得到，其实意义也不大，介电常数还不知道呢

[求助] 45nm工艺下互连金属的单位面积电容、边缘电容如何得知？

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

相关帖子

站长推荐 /2