GF22 drc问题

hutiao

在GF22工艺中，run drc出现GRM1.C.6这项错误，其错误输出的层次及其运算如下 ：
M1_CONFLICT_POLYGON = RET NMDPC
                              GRM1.S.1_SEP_M1
                              M1_allsplit
                              ......
                              GRM1.S.20a_SEP_M1
                              FILE M1_DP_FILE
                              MAP CONFLICT

or


M1_CONFLICT_POLYGON = DFM DP CONFLICT

                              M1_allsplit
                              GRM1.S.1_SEP_M1 ( OPPOSITE 0 )
                                    ......
                              M1_E1_anchor ( ANCHOR MASK0 )
                              M1_E2_anchor ( ANCHOR MASK1 )



请问上面红色字体的两个指令的作用是什么？

firewolf223

哥 能不能把rule description 说一下
再说下这是用哪个语言写的

hutiao

回复 2# firewolf223

这个就是Calibre drc rule里面的，RET NMDPC在svrf手册里面有，但是看不懂。

akwl2011

RET NMDPC
Multi-Patterning SVRF Commands
Invokes Calibre nmDPC and splits the target layer into two masks.

hutiao

回复 4# akwl2011


   请问上面的运算怎么理解？

firewolf223

double pattern 的design rule
在check的时候需要拆分到两张mask 上check，主要是避免OPC 遇到拆不开的情况。
calibre 需要另外的multi patterning license才能用这几个命令
至于你问的上面的运算，你贴的太少了
要根据你的rule description 和前面更多的layer 定义来判断

hutiao

回复 6# firewolf223

语法如下：output_layer = DFM DP
               operation_keyword
               target_layer
               separator_layer ['('{SAME|OPPOSITE} [priority] ')'] [separator_layer...]
               anchor_layer '(' ANCHOR {MASK0|MASK1} [priority] ')' [anchor_layer...]
               stitch_layer '(' STITCH {REQUIRED|USER|MINIMIZE N| MAXIMIZE M} ')' [stitch_layer...]
             [UNFILTERED]
             [waiver_layer(WAIVER)]


现在就是搞不清target_layer、separator_layer、anchor_layer以及stitch_layer之间的关系。
我的理解是：将target_layer分解成separator_layer、anchor_layer或者stitch_layer。

firewolf223

回复 7# hutiao


    看了下manual 好复杂不想看了，哈哈
    目前我们没有用到这个命令

snk88

回复 7# hutiao

target_layer 想要把它们划分为double-pattern的层，就比如 m1 drawing

output_layer 是划分后的layer。可能是m1 colora/mask1或者m1 colorb/mask2 。也可能叫别的，反正就是划分到不同的mask了

anchor 这个比较好理解，就是强制 铆定的点。比方说，想把某个特定的图形定为mask1,那它就是mask1 anchor

stitch  也好理解，就是mask1 和mask2 是否有重叠或者交叠

separator 就是划分的规则了，上它是成对出现的边 ，也就是edge-pair 。
比如 两个矩形头对头多少距离，用ext命令产生 edge-pair。 实际上就是个划分的规则或者依据。当然还有角对角， 侧边对侧边，头对侧边等 情况。

hutiao

回复 9# snk88

M1_CONFLICT_POLYGON = DFM DP CONFLICT

                              M1_allsplit
                              GRM1.S.1_SEP_M1 ( OPPOSITE 0 )
                                    ......
                              M1_E1_anchor ( ANCHOR MASK0 )
                              M1_E2_anchor ( ANCHOR MASK1 )
那M1_CONPLICT_POLYGON这一层有分配颜色么？还是说分配颜色是由DFM SPEC BALANCE/DFM BALANCE来确定？