MIM电容800多fF,，画了一个环形MIM电容，请大神帮忙评估风险

15139909423 · 发表于 2018-4-4 19:37:46

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

MIM电容800多fF,用的是6层METAL，鉴于工艺限制，MIM只能做在5,6层。
如图，由于正中间要做10*10的PAD，只能画了一个环形电容，不知道环形电容的精度如何，风险大吗？
请大神指点

15139909423 · 发表于 2018-4-4 19:41:28

环形电容图

maomao198477 · 发表于 2018-4-6 13:07:00

很重要的电路应用么？

15139909423 · 发表于 2018-4-6 13:43:01

回复 3# maomao198477
挺重要的，一个采样电容

layout123 · 发表于 2018-4-9 17:25:07

太大面积的mim电容不好吧，最好分成若干个小的，然后并联起来

[求助] MIM电容800多fF,，画了一个环形MIM电容，请大神帮忙评估风险