芯片tape out出来后size扩大了200um

minglaihe

大家好，我平时做电路设计，最近也画了一个版图。流片出来后，发现芯片的尺寸扩大了一点。
由于有特殊需要，希望芯片尺寸可以基本上自己算出来，所以请教如下，工艺是TSMC。
（我知道DRC rule里可能有相关的所有信息，但是DRC rule太长了看不完，自己又不是专门搞这个的）

流片回来，划片后某块芯片的尺寸是1268 X 1127。
Cadence版图芯片尺寸（以prBoundary为边界）再加上划片间距是1074 X 1095。
其中算划片间距是这样的：
我们有多个小设计拼版，芯片之间间隔100，确认过划片切刀是22，再加上两侧磨损，所以划刀计做30，
那么有划片的每一侧就加上 35。

现在和最终尺寸还有差距，其中一条边更是相差近200，这条边属于整体拼版的外围四条边（另一条边属于内部边）。
所以应该再加上seal ring和assembly isolation的20（DRC rule这样说的）
咨询了MPW的人说die saw应该再加40-80，那么按80算现在还差近100。

大家说说看还漏算了哪些制作过程，谢谢！

CXLDII

你说了是多个小芯片拼版，芯片大小是否不一致？
划片是按较大芯片来的，较小芯片四周加dummy与较大芯片面积保持一致，
那么较小芯片面积扩大了是可以应该的吧？

Snowy2016

有没有shrink呀

minglaihe

回复 3# Snowy2016


    没有shrink

minglaihe

回复 2# CXLDII


    整体拼版后，该芯片的占用面积是可以在cadence里量出来的（是在整体拼版的版图里测量），
我不太明白加dummy会导致加大是什么意思

CXLDII

回复 5# minglaihe
芯片C上下加了dummy，与AB高度一致，划片后，芯片C的高度比实际大很多了

pine_p

是不是 mask 都没有做对哦

小马哥爱逛

MPW时，工厂没有给你们提供掩模数据，让你们确认？或者说Tapeout前都有相应的表格要填写。如果芯片大小不一致。最好还是像foundry确认。

peterlin2010

MPW时，工厂没有给你们提供掩模数据，让你们确认？或者说Tapeout前都有相应的表格要填写。如果芯片大小不一 ...
小马哥爱逛 发表于 2017-7-7 08:42

                               
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    Tapeout前都有相应的表格 => MT FORUM

multi die 最好排一长排比较好切割, 否则 DIE SAW 很容易毁其他 die . 至於 MPW 是一整块给你自己排吧 4000x4000  or 5000x5000 .
layout die 画多少应该出来就多少 .

mask 那些 bias 只是光罩过程会使用 不会影响到 die 大小,除非是使用 非标准 shrink 工艺如 0.18 -> 0.13um  ,  
但这类一般GDS shrink