run LVS 时,弹出报错窗口,提示LVS rule文件某一行出错:cannot establish connectivity of this layer in the DIRECT connectivity set:metal2. 文件中部分内容如下:
TEXT LAYER 141 ATTACH 141 metal1
PORT LAYER TEXT 141
TEXT LAYER 142 ATTACH 142 metal2
PORT LAYER TEXT 142
TEXT LAYER 61 ATTACH 61 metal1
PORT LAYER TEXT 61
TEXT LAYER 62 ATTACH 62 metal2
PORT LAYER TEXT 62
报错的是上面的第三行,尝试过屏蔽这一行,第七行就会报错,把这两行都屏蔽了,就会报metal3的错,请问这个问题该怎么解决?要如何修改rule文件? (使用的是smicee的工艺)