mim电容因天线效应发生击穿问题探讨

forever'

如图，这个MIM电容上下极板都用到ME6,ME6就是TOP metal,CTM为上极板，CBM是下极板。
为防止刻蚀过程因antenna引起电容击穿，design rule 规定0.5<T/B<2,T：T是上极板ME6的面积，B是下极板ME6的面积.
     那么问题来了，电路设计把下极板接GND,在CHIP级，GND 用了大量的ME6,T/B<<0.5,过不了验证，工艺商给的建议是在上下极板接一个diode,只是理想的认为ME6上过多的电荷会通过diode泄放掉，没有designrule 可以检查，也没有说100%能行。
      请问工艺商给的建议是否合理，如果合理，为什么电荷优先从diode流过？

ptadx

回复 1# forever'


   你这个是TSMC的工艺吧！按工艺说的加上dio是没有风险的。我们已经很多次流片实验了。至于电荷积累多了，dio就会反向击穿，从而不至于烧毁介质层

Rucas

为什么会有0.5<T/B<2的要求？

存在感

回复 3# Rucas
同问，大于0.5 理解不了····

    罐罐水请理解，嘿嘿~

forever'

回复 3# Rucas


   0，5<T/B<2，上下极板的面积比，目测是考虑在光刻的时候，上下极板都会累积电荷，电荷的多少取决于金属面积，在电容那个位置会有电势差，如果电势差过大，会把电容的介质击穿。所以这条rule是合理的，问题是加个diode能解决问题吗

存在感

回复 5# forever'

金属积累的是电子，diode达到导通条件后电子都泄放到sub 去了。

Rucas

回复 5# forever'


   加Diode应该是没问题的

forever'

回复 2# ptadx


   上下极板累积的电荷会会形成电势差，在diode被击穿前，那个电势差会不会先把电容介质击穿？你们也是凭感觉加的diode，没有rule可以检查通过？

forever'

回复  forever'


   加Diode应该是没问题的
Rucas 发表于 2016-6-12 15:36

                               
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   积累的电荷是先击穿电容还是击穿diode？能不能给个理由

tuohong

我也不知道具体工艺哈，一般普通工艺单位容值1fF的mim大概击穿电压在十几v左右，这个值design rule上一般会有。diode的击穿一般会小于10V，所以大概能起到作用。
上面都是大概值，具体行不行还是得看工艺。