tsmc 哪一层是不让加dummy的层

1249068807 · 发表于 2016-4-7 16:26:06

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tsmc design rule 里面有没有不让加所有dummy的层次，有odblk poblk dmxexcl 有没有总的一个层次不让加dummy的

tiamo1222 · 发表于 2016-4-7 19:22:13

odblk和poblk貌似是阻挡od和po dummy的专用层次？
至于是不是有一层能阻止所有层dummy insert，就要看文档了。
mask tooling中应该有相关标识层次的注释，layermap文件和lvs rule里面应该也有相关注释，可以都找找看。
没用过tsmc的工艺，不是特别清楚文档格式。

1249068807 · 发表于 2016-4-8 09:03:04

回复 2# tiamo1222

dummy utility里面写了dmxexcl 这个应该是加metal 但是没有总的哪里不加dummy poly 和active 和metal

tiamo1222 · 发表于 2016-4-8 10:45:19

回复 3# 1249068807

如果没有的话，可能需要三层全部画上了，之前其他foundry的工艺也是有遇到有这种情况的。不过tsmc的工艺还是需要更有经验的大神们来科普一下。

1249068807 · 发表于 2016-4-18 16:24:03

回复 4# tiamo1222

谢谢! 一直用smic的还第一次用tsmc 做东西还希望楼下大神回复哈

yl心在路上 · 发表于 2016-4-19 20:44:49

没有，要分开加

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