what is CMOS MEM ??

andy2000a · 发表于 2015-8-18 11:30:14

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一般mem 都不算标准
还须要特殊去调
都只能自己下mask

也没有一般cmos的shuttle可以搭对开发很花钱

那最近看到一个说是CMOS MEM

是说可以整合标准
cmos process 但是仍有特殊 process 吗

还是说
标准cmos 下做出mem 类, 但是这方式好处是标准cmos

电路都可以用

pantani · 发表于 2015-11-16 01:54:06

曾經看過相關文章，是用cmos標準製程去做MEMS，也因此方便結合感測元件與電路，但是在wafer製造完後需要搭配特定的後製程將感測結構釋放出來

kofkoy2000 · 发表于 2015-11-18 15:48:54

一般是利用标准的CMOS工艺制备电路及MEMS结构，在CMOS工艺结束后再进行一下post-CMOS的工艺进行释放MEMS结构。目前看，其中的MEMS结构大部分是用CMOS的后端互连工艺部位做的，采用表面工艺或者体硅工艺。（1）采用表面工艺的，一是采用金属互连层做牺牲层，用层间介质（PSG之类）等构成MEMS结构，二是用层间介质（PSG之类）做牺牲层，用金属构成MEMS结构。在CMOS工艺结束后，腐蚀掉牺牲层，得到MEMS结构。（2）采用体硅工艺的，也一般用CMOS的后端互连工艺制备MEMS结构，也有部分将N-well或者P-well用在MEMS结构里的，在CMOS工艺工艺后腐蚀掉MEMS结构下的硅衬底部分，形成一个小的空腔，将MEMS结构释放悬空。
在2000年前后，欧洲做了不少CMOS-MEMS的工作。最近几年，在TSMC的支持下，台湾做了很多很好的工作，还产生了一位IEEE fellow。

andy2000a · 发表于 2015-11-19 08:51:26

一般是利用标准的CMOS工艺制备电路及MEMS结构，在CMOS工艺结束后再进行一下post-CMOS的工艺进行释放MEMS结构 ...
kofkoy2000 发表于 2015-11-18 15:48

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use ansys simulation MEM ?
or Tanner mem pro ?

kofkoy2000 · 发表于 2015-11-20 19:16:02

Oh, Tanner mems pro is very interesting. But I didn't have such experience. Can you share some information about Tanner mems pro?

andy2000a · 发表于 2015-11-23 10:26:04

Oh, Tanner mems pro is very interesting. But I didn't have such experience. Can you share some info ...
kofkoy2000 发表于 2015-11-20 19:16

登录/注册后可看大图

http://bbs.eetop.cn/thread-425890-1-1.html
http://bbs.eetop.cn/thread-5594-1-1.html

no upload or crack about mem pro on EETOP

https://www.mentor.com/tannereda/mems-design

蔡健忠 -成果報告1.pdf (5.45 MB, 下载次数: 104 )

taiwan CIC

CMOS-MEMS

kofkoy2000 · 发表于 2016-4-26 20:47:02

回复 6# andy2000a

Thank you very much! Are you from Taiwan? Which University?

nareshreddy · 发表于 2016-7-18 02:32:01

ghfhfghfghgfhgfhgf

lianaissmec · 发表于 2018-7-24 17:49:02

受教了，多谢分享

magicfire · 发表于 2018-7-30 13:33:06

多谢分享！

[讨论] what is CMOS MEM ??

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