沟道上走线

sunny_yangfeng · 发表于 2015-9-28 19:43:22

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请问在沟道上走met1会带来什么影响？

leshi · 发表于 2015-9-29 10:46:20

因为在金属线的工艺后期处理中（高温溅射、刻蚀、退火等）会影
响这些器件的性能。

sunny_yangfeng · 发表于 2015-9-30 17:07:55

回复 2# leshi
请问具体是会影响器件的什么性能？

sunny_yangfeng · 发表于 2015-10-4 17:47:22

回复 2# leshi

另外poly电阻上走线会带来什么影响？

icfbicfb · 发表于 2015-10-8 14:12:02

没看懂，个人认为没关系

15928663497 · 发表于 2015-11-12 19:18:38

沟道上走M1的坏处是：因为M1离poly层很近，所以很可能会导致这个管子开启，管子开启的过程就是通过电压来控制的。POLY电阻如果需要匹配的话走线会影响匹配度

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