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查看: 4816|回复: 8

[求助] 初学后端 不是很理解PSE 和 OSE 求解.谢谢

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发表于 2014-8-22 19:05:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

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为什么加上endcap之后可以避免这个问题呢
发表于 2014-8-22 22:09:06 | 显示全部楼层
好像是保证了od的一致性和密度吧,具体不记得了
 楼主| 发表于 2014-8-22 22:27:36 | 显示全部楼层
回复 2# icfbicfb
可以具体一点吗?非常感谢 这方面的资料好像比较少 或者是我不知道 如果有好书推荐 希望可以给我推荐推荐。
发表于 2014-8-24 15:28:52 | 显示全部楼层
没细究这个问题,只记得要加row endcap,
发表于 2014-8-25 15:17:01 | 显示全部楼层
回复 1# fu_wang
楼主您好,我也是初学后端,弱弱的问一句,PSE和OSE是什么吗?
 楼主| 发表于 2014-8-25 20:47:32 | 显示全部楼层
回复 5# kanikanixjj


    额。。。poly space effect & oxide space effect...加endcup可以避免effect。 具体原理我也不知道。。。
发表于 2014-8-26 09:52:45 | 显示全部楼层
回复 6# fu_wang

好的,非常感谢~~~有您的提示我就可以找资料查查看了~~
发表于 2014-8-26 10:53:43 | 显示全部楼层
重要的资料在tsmc 文档里面,如果你能看的话,
发表于 2023-7-26 16:49:24 | 显示全部楼层
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