ＣＭＯＳ工艺中设计光电二极管器件

tiancai3385 · 发表于 2014-2-24 18:35:55

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本人设计的一款前端芯片，目前使用的是外接的光电二极管器件。想请教下，如何在ＣＭＯＳ工艺里面，如何使用Ｎ_well/p_sub,设计一个ＰＮ结，来实现——将光电二极管也集成在芯片内？如何设计这样的集成光电二极管，我目前大致明白了原理，我看了很多相关论文，知道这个是可行的。我主要不明白的是：如何在工艺上实现？如果我使用的１Ｐ６Ｍ工艺，不知道怎样设计这个光电二极管的物理层？Ｎ_well上面是不是会覆盖很厚的氧化层？这样会不会造成输入光照射不进ＰＮ结？

有谁对工艺很熟的吗？知道这里面设计的工艺问题吗？

有谁做过类似这样的集成芯片吗？

tiancai3385 · 发表于 2014-2-25 09:25:27

等人回复

zsnh_khy · 发表于 2014-2-25 09:45:12

帮你顶~

ebook128 · 发表于 2014-2-27 08:02:59

回复 1# tiancai3385
你这是什么应用？探测红外，紫外，还是可见光？

tiancai3385 · 发表于 2014-2-27 09:14:02

回复 4# ebook128

我目前正在尝试做这样的ＣＭＯＳ　ＯＥＩＣ，可见光到近红外光都可以，光源的波长并没有关系。我只是不清楚怎样在设计版图，需要特定的掩模版吗？

狐之忿忿 · 发表于 2014-2-27 12:48:11

求助求助lz，我现在做个类似光控开关的东西，也需要将光敏器件集成在芯片上，我想问下lz看的论文大致有什么啊，我在cnki上找半天找不到，所有光控都是外接的。。。求提供几个题目或者是关键字啥的，不胜感激！

tiancai3385 · 发表于 2014-2-28 12:22:06

回复 6# 狐之忿忿

我们是研究机构，我看的一般是英文，ＩＥＥＥ上检索的，检索的关键词：cmos photodiode/photodetector.

狐之忿忿 · 发表于 2014-3-5 22:36:13

回复 7# tiancai3385

谢谢！

zhang209a · 发表于 2014-3-12 17:18:41

may be you need to see cmos sensor's ,like T3,T4

yulingh · 发表于 2016-5-25 11:50:11

不知楼主是否解决CMOS工艺光电二极管的版图问题？

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