为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容？

stealingling · 发表于 2013-8-16 15:20:29

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为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容呢？0.13um的工艺中mim电容和mom电容都有。mim电容应该就是在TM和TM-1之间加上一层insulator吧，这个在65nm和55nm的工艺中实现很难吗？

顺便问一下mim电容和mom电容哪种的精度和匹配性要好一些？

li5452859 · 发表于 2013-8-19 17:27:48

0.13 um 以下制成都没有MIMCAP.

stealingling · 发表于 2013-8-20 21:28:43

0.13 um 以下制成都没有MIMCAP.
li5452859 发表于 2013-8-19 17:27

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为啥呢？制作mimcap成本较高吗？还是mimcap比momcap精度或者是匹配性好些？

motofatfat · 发表于 2013-8-21 09:48:07

为啥呢？
施主這恐怕要問晶圓代工廠了

stealingling · 发表于 2013-8-21 12:19:12

为啥呢？
施主這恐怕要問晶圓代工廠了
motofatfat 发表于 2013-8-21 09:48

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阿弥陀佛

孙之策 · 发表于 2014-7-28 09:52:43

因为mim制作复杂

icfbicfb · 发表于 2014-7-28 12:57:37

要多一层mask（ MIM ）啊，看analog工艺一般都提供的，多加点钱，

mom 又不需要多加mask，只是金属叠加而已，

sl_zhao · 发表于 2015-8-22 16:45:44

首先要明白，MOM电容主要是利用同层Metal之间的侧面电容值的
所以当工艺特征尺寸变小至0.13um以下，则侧面电容比平板电容更显著，
将MOM的Metal做成螺旋环状，可充分利用面积；
而且MOM比MIM少一层Mask，节省了成本。

i0977454522 · 发表于 2015-11-6 11:46:06

THANK YOU

xiuqi180 · 发表于 2015-11-6 16:27:06

学习了。。。。。

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