Introductory MEMS

sunbinsunbird · 发表于 2013-5-1 18:58:38

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本帖最后由 sunbinsunbird 于 2013-5-1 19:02 编辑

Introductory MEMS: Fabrication and Applications

作者Thomas M. Adams · Richard A. Layton

出版社ｓｐｒｉｎｇｅｒ

http://www.amazon.de/Introductory-MEMS-Applications-Thomas-Adams/dp/0387095101

shuming221 · 发表于 2013-5-2 09:35:34

感謝分享

waveguides · 发表于 2013-5-2 10:34:56

.de难道是德国人

semico_ljj · 发表于 2013-5-2 11:04:35

2012 版本？

apteye · 发表于 2013-5-2 13:20:10

入门到工艺到应用

sunbinsunbird · 发表于 2013-5-3 03:18:51

sunbinsunbird · 发表于 2013-5-3 03:19:59

asdssssssssssss

sunbinsunbird · 发表于 2013-5-6 02:42:23

Nobody need this book?

sunbinsunbird · 发表于 2013-5-6 23:02:21

自顶

xuleiwx · 发表于 2013-5-7 15:23:36

好书，从制造到应用和实验讲得比较全。

[资料] Introductory MEMS