如何画seal ring?

korli319 · 发表于 2012-12-29 01:21:25

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拿到一个design rule却看不懂怎么画seal ring ，就看到上面层是一条一条的，有dark clear ，想请教一下高手们，谢谢！

verilog004 · 发表于 2012-12-29 08:46:42

问fab厂要design manual。Fab会告诉你需要哪些layer及规则。

korli319 · 发表于 2012-12-30 20:54:17

回复 2# verilog004

代工厂有提供一个design rule，里面有seal ring的画法，但里面有点看不懂，有虚线画的还有一些实线什么的，对了，还有dark clear的区分，不知道是啥玩意

hawaii78 · 发表于 2013-1-6 15:43:50

如果掩膜版的图形是由不透光的区域决定的，称为亮场掩膜版（clear field mask）。
反之是dark。
不是你画的问题，而是工艺的做法不同，所以标识的方法不一样。
看好了再画就行了。

Rucas · 发表于 2013-1-6 17:16:27

直接让Fab给你加好了

korli319 · 发表于 2013-1-8 21:11:42

回复 4# hawaii78

那我如何知道代工厂取的是dark 还是clear啊？

hawaii78 · 发表于 2013-1-9 10:26:34

回复 6# korli319

曲线和实线的意思就是啊？
这个图还不够明显？
随便找了一个给你看

korli319 · 发表于 2013-1-10 13:13:52

本帖最后由 korli319 于 2013-1-10 13:15 编辑

回复 7# hawaii78

这个图只是反应了某一层有dark 和 clear之分，但是举个例子比方如M2在这个图上可以看到它有dark 还有clear，即虚线和实线，那你怎么知道工艺上在做这一层的时候它取的是实线部分还是虚线部分？？

hawaii78 · 发表于 2013-1-10 14:02:12

M2取虚线
不解释自己想想

Rucas · 发表于 2013-1-10 14:23:25

回复 6# korli319

FAB提供的MaskTooling上有啊

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