关于65nm DFM(Design for manufacturability)问题请教各位大虾~~

huoguang0047 · 发表于 2011-10-20 10:50:16

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大虾们:
有木有关于65NM的DFM(Design for manufacturability)的资料呢~~~多少无所谓我想参考下,不是65的也可以!膜拜大虾们了!!

dreamylife · 发表于 2011-10-20 14:35:41

请问发新帖还要审核吗？？？？

icfbicfb · 发表于 2011-10-20 23:03:33

65 DFM没啥东西啊，就是double via + dummy metal + dummy OD/PO ，
spread wire，

还有些dfm的检查，在lvs,drc runset里面，都没开过， run起来快点，

optihack · 发表于 2011-10-20 23:09:09

和intel的 22 DFM的要求比起来神马都是浮云。。。 28也浮

icfbicfb · 发表于 2011-10-20 23:26:25

22 你都做过啊，牛， 45nm的 DFM 事情多些，有dummy via， OSE/PSE effect， poly orientation uniqueness，
28 和40像

jiancongwoo · 发表于 2011-10-22 09:36:31

可以很肯定的告诉你们的是除非你们有幸能用到Intel 或者 GlobalFoundary的 SOI工艺，否则大家都没有机会做22nm的了，TSMC不出22，直接到20nm

至于DFM的话，你兴趣可以好好研究下OCP LCC CMP。。。
现在40nm的都很成熟了， DFM的问题foundary已经帮你们考虑了。

icfbicfb · 发表于 2011-10-22 19:20:22

这样的，根本没空研究dfm，tapeout事情太多，

对了，SOI工艺有啥区别么，做后端有啥注意事项

angelaqina · 发表于 2012-10-19 10:59:46

我也想学习。

mahaluluxu · 发表于 2012-11-28 10:53:59

发现自己都没研究过呢？

zsmic · 发表于 2014-7-20 07:47:39

回复 10# mahaluluxu

咩哈哈哈哈~ 没研究过就对了版图工程师就是干活别的别管

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