高阻poly电阻上,覆盖metal有何作用

浮云2011 · 发表于 2011-11-20 15:12:40

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本帖最后由浮云2011 于 2011-11-20 17:49 编辑

做高阻poly电阻上，一般都要求在电阻体上加上大块的metal .请问所加的metal有何作用？

terry8876 · 发表于 2011-11-20 19:59:10

保护体区方块电阻值的准确。

半成品 · 发表于 2011-11-20 20:21:24

这要是避免氢化工艺退火的影响吧。

yutaotmac · 发表于 2011-11-21 15:36:23

防止电荷分散改变高值电阻阻值

perfect_ic · 发表于 2011-11-21 18:22:12

为了将poly上面的一部分电子分散到metal上面，防止"天线效应"(antenna effect).

hujiangtao007 · 发表于 2011-11-21 18:40:02

为了使电阻更加匹配，也能屏蔽噪声吧！

lixiaojun707 · 发表于 2011-11-22 00:29:08

回复 3# 半成品

什么是氢化工艺？哪一个步骤会用到这个工艺，作用是什么？谢谢

seminsulator · 发表于 2011-11-22 00:46:32

回复 5# perfect_ic

“天线效应”在刻蚀金属时候才发生的吧？

jiangtaojack · 发表于 2011-11-22 09:57:36

这个是做屏蔽层的，你可以在上面“肆无忌惮”的走二铝三铝了

nntao1984 · 发表于 2011-11-22 10:13:33

学习了

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