各位大侠，SMIC（0.13um）工艺流程在哪可以下到？

lily2012 · 发表于 2011-3-8 14:38:32

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在SMIC的官网上没找到呀，各位谁知道在哪下，请发个链接吧。或是哪位大侠有，直接发我邮箱吧，不胜感激

iamshan · 发表于 2011-3-9 00:43:50

神啊这个也能下 process flow都是保密的东西

cadance · 发表于 2011-3-9 00:46:33

你是自己研究吗？
这个公司应该有啊，要不也不可能做这东西的吧

lily2012 · 发表于 2011-3-9 16:31:17

回复 2# iamshan

   不是有人发过SMIC 0.18的flow嘛，不把细节，具体数字之类的说出来，只是一个流程，就可以吧

lily2012 · 发表于 2011-3-9 16:32:41

回复 3# cadance

恩，想用TCAD模拟一个，方便流片前的验证，好知道效果如何
   

过路心客 · 发表于 2011-3-9 16:34:19

这个，没有的，有也是非正规途径。

lily2012 · 发表于 2011-3-9 16:42:13

回复 6# 过路心客

   如果只是简单的流程名，只列出一步做了什么，不列出具体参数的话，比如说我第三步掺杂，第四步退火，第五步氧化之类的。。。这种说明有没有呢？

过路心客 · 发表于 2011-3-9 17:30:30

回复楼上：
这种说明在一般教课书上都找得到，又有什么意义呢。一个完整的工艺流程可能是两三百个步骤，最简单的纯逻辑工艺至少也有一百多个工艺步骤，各foundry间还是有差异的，所以不会对外公布的，特别是比较新的工艺。

纯白雾隐 · 发表于 2011-6-16 09:12:21

。。。一般教科书上的步骤很少。。。楼主有没有找到相对多步骤的资料？？？？

zhujizhen2012 · 发表于 2011-6-17 00:18:15

回复 1# lily2012

同求啊我也在学习

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