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查看: 4855|回复: 10

[求助] 各位大侠,SMIC(0.13um)工艺流程在哪可以下到?

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发表于 2011-3-8 14:38:32 | 显示全部楼层 |阅读模式

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在SMIC的官网上没找到呀,各位谁知道在哪下,请发个链接吧。或是哪位大侠有,直接发我邮箱吧,不胜感激
发表于 2011-3-9 00:43:50 | 显示全部楼层
神啊   这个也能下    process flow都是保密的东西
发表于 2011-3-9 00:46:33 | 显示全部楼层
你是自己研究吗?
这个公司应该有啊,要不也不可能做这东西的吧
 楼主| 发表于 2011-3-9 16:31:17 | 显示全部楼层
回复 2# iamshan


   不是有人发过SMIC 0.18的flow嘛,不把细节,具体数字之类的说出来,只是一个流程,就可以吧
 楼主| 发表于 2011-3-9 16:32:41 | 显示全部楼层
回复 3# cadance

恩,想用TCAD模拟一个,方便流片前的验证,好知道效果如何
   
发表于 2011-3-9 16:34:19 | 显示全部楼层
这个,没有的,有也是非正规途径。
 楼主| 发表于 2011-3-9 16:42:13 | 显示全部楼层
回复 6# 过路心客


   如果只是简单的流程名,只列出一步做了什么,不列出具体参数的话,比如说我第三步掺杂,第四步退火,第五步氧化之类的。。。这种说明有没有呢?
发表于 2011-3-9 17:30:30 | 显示全部楼层
回复楼上:
这种说明在一般教课书上都找得到,又有什么意义呢。一个完整的工艺流程可能是两三百个步骤,最简单的纯逻辑工艺至少也有一百多个工艺步骤,各foundry间还是有差异的,所以不会对外公布的,特别是比较新的工艺。
发表于 2011-6-16 09:12:21 | 显示全部楼层
。。。一般教科书上的步骤很少。。。楼主有没有找到相对多步骤的资料????
发表于 2011-6-17 00:18:15 | 显示全部楼层
回复 1# lily2012


    同求啊  我也在学习
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