求流行的65nm，45nm，32nm的金属层尺寸rule

acupoftea · 发表于 2011-1-13 12:56:00

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哪位大大能告诉我现在65nm，45nm，32nm工艺里面金属层的尺寸rule呀？我想是不是每个厂家都不一样呀？

acupoftea · 发表于 2011-1-13 13:22:26

自己帮顶一记

hezudao · 发表于 2011-1-14 06:07:25

你想问metal thickness还是spacing width? BTW,你没foundry的doc?

acupoftea · 发表于 2011-1-14 09:11:10

回复 3# hezudao

我想问的是spacing width，没有foundry 的doc，话说这东西哪里有呀？我是一菜鸟，只能求助各位高手了。

hezudao · 发表于 2011-1-15 03:38:02

回复 4# acupoftea

向foundry要，minimum spacing和width以及parallel length都有关系的，

ImMOMO · 发表于 2011-2-23 08:57:04

向foundry 要design rule，里面都有的

acupoftea · 发表于 2011-2-23 12:07:30

恩，我去联系下，好像要签协议的～

toad · 发表于 2011-2-24 17:02:43

不过说实话，不同foundry一般差别不会很大的

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